Photo-Sensitized Chemically Amplified Resist (ps-Car) Model Calibration

WO2017143166 Art A1 24. August 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017143166
Aktenzeichen: EP17753908
Anmeldetag: 17. Februar 2017
Veröffentlichung: 24. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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