Method and system for high-throughput defect inspection using the contrast in the reduced spatial frequency domain

WO2017144252 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017144252
Aktenzeichen: EP17703390
Anmeldetag: 2. Februar 2017
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Paul Scherrer Institut
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 PAUL Scherrer Institut

Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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