Beam homogenizer, illumination system and metrology system

WO2017144265 Art A1 31. August 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017144265
Aktenzeichen: EP17704436
Anmeldetag: 7. Februar 2017
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/09G03F7/20F21V8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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