Detection device, detection system, detection method, information processing device, and processing program

WO2017145356 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017145356
Aktenzeichen: EP16891513
Anmeldetag: 26. Februar 2016
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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