Beam transmission system, exposure device, and illumination optical system for exposure device

WO2017145385 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017145385
Aktenzeichen: EP16891542
Anmeldetag: 26. Februar 2016
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H05H13/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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