Method for producing epitaxial wafer, and epitaxial wafer

WO2017145470 Art A1 31. August 2017

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017145470
Aktenzeichen
EP16891626
Anmeldetag
25. November 2016
Veröffentlichung
31. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322H01L21/02H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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