Coating apparatus and coating method

WO2017145675 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017145675
Aktenzeichen: EP17756117
Anmeldetag: 1. Februar 2017
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/10B05C5/02B05C11/00B05D1/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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