Silicon-containing coating agent for pattern reversal

WO2017145809 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Nissan Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017145809
Aktenzeichen
EP17756250
Anmeldetag
10. Februar 2017
Veröffentlichung
31. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C09D183/04G03F7/11C08G77/06C08G77/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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