Stage apparatus

WO2017145855 Art A1 31. August 2017

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017145855
Aktenzeichen
EP17756296
Anmeldetag
14. Februar 2017
Veröffentlichung
31. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G05D3/00G05D3/12H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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