Analyzing Root Causes Of Process Variation in Scatterometry Metrology

WO2017146785 Art A1 31. August 2017

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017146785
Aktenzeichen: EP16891880
Anmeldetag: 31. Oktober 2016
Veröffentlichung: 31. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/47G06F11/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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