Vibration isolator, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2017148650 Art A1 8. September 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017148650
Aktenzeichen: EP17703396
Anmeldetag: 3. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F16F15/02F16F15/023F16F15/027F16F9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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