Polishing Composition

WO2017150114 Art A1 8. September 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017150114
Aktenzeichen
EP17759585
Anmeldetag
8. Februar 2017
Veröffentlichung
8. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00C09G1/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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