Method for producing aluminum oxide film and production starting material for aluminum oxide film

WO2017150212 Art A1 8. September 2017

Anmelder: UBE Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017150212
Aktenzeichen: EP17759681
Anmeldetag: 17. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C07F5/06C23C16/40H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UBE Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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