Machining method and apparatus using radical adsorbing transportation

WO2017150308 Art A1 8. September 2017

Anmelder: Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017150308
Aktenzeichen: EP17759774
Anmeldetag: 22. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065B01J23/755

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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