Film deposition device

WO2017150400 Art A1 8. September 2017

Anmelder: NuFlare Technology, Inc., Showa Denko K.K., Central Research Institute of Electric Power Industry 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017150400
Aktenzeichen: EP17759866
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NuFlare Technology, Inc.
Showa Denko K.K.
Central Research Institute of Electric Power Industry
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

2.327 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von