Bipolar electrostatic chuck module and production method therefor

WO2017150574 Art A1 8. September 2017

Anmelder: Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017150574
Aktenzeichen: EP17760038
Anmeldetag: 28. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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