Selective Siarc Removal

WO2017151383 Art A1 8. September 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017151383
Aktenzeichen: EP17760494
Anmeldetag: 23. Februar 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/09G03F1/46G03F1/00H01L21/027H01L21/311H01L21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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