Isotropic silicon and silicon-germanium etching with tunable selectivity

WO2017151958 Art A1 8. September 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017151958
Aktenzeichen: EP17760847
Anmeldetag: 2. März 2017
Veröffentlichung: 8. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/02H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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