Level sensor and lithographic apparatus

WO2017153069 Art A1 14. September 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153069
Aktenzeichen: EP17702018
Anmeldetag: 17. Januar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G01B11/06G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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