Electron source for a free electron laser

WO2017153104 Art A1 14. September 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153104
Aktenzeichen: EP17704435
Anmeldetag: 7. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H05H9/00H01S3/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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