Strahlteiler für Streifenden Lichteinfall

WO2017153148 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153148
Aktenzeichen: EP17708184
Anmeldetag: 17. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/12G02B21/16G02B21/00G02B5/30G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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