Verfahren zum Herstellen eines Beleuchtungssystems für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage und Beleuchtungssystem

WO2017153165 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153165
Aktenzeichen: EP17706481
Anmeldetag: 22. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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