Method for providing a target layer surrounding a vertical nanostructure

WO2017153193 Art A1 14. September 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153193
Aktenzeichen: EP17706824
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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