Method for providing a tungsten layer

WO2017153194 Art A1 14. September 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017153194
Aktenzeichen: EP17709389
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/321H01L29/06H01L21/3213H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

2.629 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von