Article having surface treatment layer, method for manufacturing same, and device for manufacturing same

WO2017154594 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017154594
Aktenzeichen: EP17762934
Anmeldetag: 23. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/42B32B9/00C09D1/00C09D5/00C09D183/05C09K3/18C23C16/50C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

3.412 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von