Light-processing device, and method for adjusting interval between surface of object to be processed and window member

WO2017154634 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017154634
Aktenzeichen: EP17762974
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027F21S2/00G03F7/20H01L21/304H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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