Detection device, detection system, detection method, and detection program

WO2017154707 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017154707
Aktenzeichen: EP17763047
Anmeldetag: 1. März 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01B11/24G06T1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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