Mist generating device, film forming device, mist generating method, film forming method, and device manufacturing method

WO2017154937 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017154937
Aktenzeichen: EP17763277
Anmeldetag: 7. März 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B05B17/06B05D1/02B05D1/06B05D1/32B05D3/10B05D5/12B05D7/24G03F7/20H01B13/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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