Tungsten Post-Cmp Cleaning Compositions

WO2017156304 Art A1 14. September 2017

Anmelder: Entegris, Inc., Parson, Thomas, Jeng, Shrane-Ning (Shining), Medd, Steve, White, Daniela, White, Michael, Frye, Don 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017156304
Aktenzeichen: EP17712383
Anmeldetag: 9. März 2017
Veröffentlichung: 14. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/00C11D1/08C11D3/20C11D3/37C11D11/00C23G1/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Entegris, Inc.
Parson, Thomas
Jeng, Shrane-Ning (Shining)
Medd, Steve
White, Daniela
White, Michael
Frye, Don
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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