Verfahren zur In-Situ Charakterisierung einer auf einem Substrat Abzuscheidenden Schicht und Sensoranordnung

WO2017157362 Art A1 21. September 2017

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017157362
Aktenzeichen: EP17713148
Anmeldetag: 17. Februar 2017
Veröffentlichung: 21. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/22H01L21/02H01L21/66

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Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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