Inspection method, inspection apparatus and illumination method and apparatus

WO2017157645 Art A1 21. September 2017

Anmelder: Stichting VU, Universiteit van Amsterdam, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017157645
Aktenzeichen: EP17707036
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 21. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B21/16G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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