Defect inspection method and defect inspection device
WO2017158744
Art A1
21. September 2017
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017158744
- Aktenzeichen
- EP16894362
- Anmeldetag
- 16. März 2016
- Veröffentlichung
- 21. September 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N23/203
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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