Coated membrane inspection device, coated membrane inspection method, and catalyst-coated membrane production device

WO2017158895 Art A1 21. September 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017158895
Aktenzeichen: EP16894512
Anmeldetag: 5. Oktober 2016
Veröffentlichung: 21. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01M4/88B05C5/02B05C9/14B05C11/00G01N23/06H01M4/86H01M4/04H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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