Mask holding mechanism and patterning device provided with same

WO2017158925 Art A1 21. September 2017

Anmelder: Konica Minolta, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017158925
Aktenzeichen
EP16894542
Anmeldetag
17. November 2016
Veröffentlichung
21. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Konica Minolta, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Konica Minolta

Japanisches Technologieunternehmen, das Bürodrucksysteme, Multifunktionsgeräte, optische Geräte sowie Mess- und Sensortechnik herstellt.

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