Evaluation method for charged particle beam, computer program for evaluating charged particle beam, and evaluation device for charged particle beam

WO2017159360 Art A1 21. September 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017159360
Aktenzeichen: EP17766363
Anmeldetag: 1. März 2017
Veröffentlichung: 21. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/22H01J37/28H01J37/317H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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