Liquid chemical for forming water-repellent protective film, and wafer washing method using said liquid chemical
WO2017159446
Art A1
21. September 2017
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017159446
- Aktenzeichen
- EP17766448
- Anmeldetag
- 7. März 2017
- Veröffentlichung
- 21. September 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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