System, method and computer program product for identifying fabricated component defects using a local adaptive threshold

WO2017161132 Art A1 21. September 2017

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017161132
Aktenzeichen
EP17767532
Anmeldetag
16. März 2017
Veröffentlichung
21. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00G06T7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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