Laser doping device and semiconductor device manufacturing method
WO2017163356
Art A1
28. September 2017
Anmelder: Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017163356
- Aktenzeichen
- EP16895392
- Anmeldetag
- 24. März 2016
- Veröffentlichung
- 28. September 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/228
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyushu University
Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.
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