Laser annealing device

WO2017163357 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017163357
Aktenzeichen: EP16895393
Anmeldetag: 24. März 2016
Veröffentlichung: 28. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/268H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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