Laser annealing device

WO2017163357 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017163357
Aktenzeichen
EP16895393
Anmeldetag
24. März 2016
Veröffentlichung
28. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/268H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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