Powder dispensing device, powder supply device, and powder dispensing method

WO2017163628 Art A1 28. September 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017163628
Aktenzeichen: EP17769675
Anmeldetag: 3. Februar 2017
Veröffentlichung: 28. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B01J4/00B05C19/04B05D1/30B05D7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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