Detection device and detection method

WO2017163697 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Rayresearch Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017163697
Aktenzeichen
EP17769743
Anmeldetag
20. Februar 2017
Veröffentlichung
28. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Rayresearch Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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