Detection device and detection method
WO2017163697
Art A1
28. September 2017
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Rayresearch Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017163697
- Aktenzeichen
- EP17769743
- Anmeldetag
- 20. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 28. September 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Rayresearch Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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