Substrate holder and plating device

WO2017163849 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017163849
Aktenzeichen
EP17769894
Anmeldetag
7. März 2017
Veröffentlichung
28. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C25D17/08B65G49/02C25D17/06H01L21/683H05K3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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