Etching liquid composition and etching method

WO2017164090 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017164090
Aktenzeichen: EP17770132
Anmeldetag: 16. März 2017
Veröffentlichung: 28. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306C23F1/18H01L21/308H01L21/3205H01L21/3213H01L21/768H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Adeka Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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