Bonding device and bonding method

WO2017164252 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017164252
Aktenzeichen
EP17770292
Anmeldetag
22. März 2017
Veröffentlichung
28. September 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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