Local area polishing system and polishing pad assemblies for a polishing system

WO2017165068 Art A1 28. September 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017165068
Aktenzeichen: EP17770801
Anmeldetag: 24. Februar 2017
Veröffentlichung: 28. September 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/304H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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