Vacuum device and vacuum pump

WO2017168557 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017168557
Aktenzeichen: EP16896777
Anmeldetag: 29. März 2016
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01L21/30H01J41/06H01J41/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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