Laser apparatus and system for generating extreme ultraviolet light

WO2017168584 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017168584
Aktenzeichen: EP16896804
Anmeldetag: 29. März 2016
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/131H01S3/0941H01S3/227H01S5/068

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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