Workpiece transporting device, light irradiation device, workpiece transporting method, and light irradiation method

WO2017169404 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017169404
Aktenzeichen: EP17773949
Anmeldetag: 24. Februar 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B23Q1/25G02F1/13G05D3/12H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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