Method for evaluating cleanliness, method for determining cleaning condition, and method for manufacturing silicon wafer

WO2017169458 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017169458
Aktenzeichen: EP17774003
Anmeldetag: 28. Februar 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62C30B29/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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