Surface treatment composition, method for manufacturing surface treatment composition, surface treatment method, and method for manufacturing semiconductor substrate

WO2017169539 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017169539
Aktenzeichen
EP17774084
Anmeldetag
6. März 2017
Veröffentlichung
5. Oktober 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D7/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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